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惠州爱德华磁悬浮涡轮泵设备保养-潽拓光电(在线咨询)

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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Edwards在真空和减排方面的仍稳居全*地位。产品包括运行速度高达60,000 RPM (每秒钟竟然达到1,000转)的磁悬浮涡轮分子泵;磁悬浮分子泵具有无油,低振动,免维护及高稳定性等特点。

Edwards真空泵是上畅*的真空泵之一, 用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造, 及工业、制药、化工、加工、玻璃镀膜、食品包装等行业。

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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修

小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。

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涡轮分子泵的优点是启动快,耐各种射线的照射,耐大气冲击,无储气和解吸作用,无油蒸气污染或污染*少,可获得洁净的超高真空

nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。

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